首先要制定详细的清洗计划，根据废气锅炉的使用频率、工作环境以及厂家建议确定清洗周期。在清洗前，要停止主机运行，让废气锅炉自然冷却，避免烫伤。关闭废气锅炉的进出口烟道阀门，防止在清洗过程中有废气进入。准备好清洗工具和清洗剂，如高压水枪、化学清洗剂、刷子等。对于废气锅炉的受热面，可先用高压水枪进行初步冲洗，去除表面较大颗粒的积灰和污垢。对于顽固的积垢，可将适量的化学清洗剂均匀喷洒在受热面上，按照清洗剂的使用说明，等待一定时间让其充分反应，溶解污垢。之后，再次使用高压水枪进行冲洗，确保受热面清洗干净。清洗过程中，要注意检查受热面是否有损坏、变形等情况。对于废气锅炉的内部烟道，可使用刷子等工具进行人工清理，将烟道内的积灰和杂物清理出来。清洗完成后，打开进出口烟道阀门，启动主机，让废气锅炉运行一段时间，观察其工作状态，检查清洗效果，如排烟温度、蒸汽产量等参数是否恢复正常。同时，对清洗过程中使用的工具和设备进行清理和维护，妥善保管。
